Nhiệt độ và độ ẩm điều hòa không khí
**HỆ THỐNG ĐIỀU HÒA CHÍNH XÁC NHIỆT ĐỘ - ĐỘ ẨM CHO NGÀNH BÁN DẪN**
**1. Vai trò then chốt**
Thiết kế đặc biệt để đáp ứng yêu cầu khắt khe trong sản xuất chất bán dẫn:
✓ **Kiểm soát siêu chính xác**: Duy trì nhiệt độ và độ ẩm trong phạm vi ±0.1°C và ±2% RH
✓ **Ổn định tuyệt đối**: Đảm bảo không gián đoạn sản xuất do biến động môi trường
✓ **Giám sát thời gian thực**: Hệ thống cảm biến thông minh tự động điều chỉnh theo biến động quy trình
**2. Công nghệ đột phá**
- **Độ chính xác cấp độ vi mô**:
✓ Bù trừ nhiệt/ẩm tức thì với thuật toán PID tiên tiến
✓ Loại bỏ 99.9% dao động môi trường
- **Hệ thống song song dự phòng**:
✓ Thiết kế redundant đảm bảo hoạt động liên tục 24/7
✓ Tự động chuyển đổi khi phát hiện sự cố
**3. Tiêu chuẩn vàng cho phòng sạch**
- Đạt chuẩn **ISO Class 1-3**
- Hệ thống lọc HEPA/ULPA loại bỏ hạt bụi đến 0.1μm
- Vật liệu chống tĩnh điện (ESD) ngăn ngừa nhiễm tĩnh
**4. Trí tuệ nhân tạo trong vận hành**
- Nền tảng IoT tích hợp:
✓ Theo dõi hiệu suất theo thời gian thực
✓ Dự đoán bảo trì chủ động
✓ Điều khiển từ xa qua nền tảng đám mây
